UPH > 200 pcs

Layout: 1.5m*1.5 m

1. 同一個點重復測量精度：≤5μm；

2. 測量精度：≤5μm；

3. 測量分辨率：≤0.1μm；

4. 有效測量范圍X×Y：600mm×600mm；Z軸：100mm；

5. 工作平臺：平面度≤5μm；

6. 測量方式：具備定點測量和線性掃描測量兩種方式；定點測試與線性測試使用時間與結果數據對比，按50個測量點測試。